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Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

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产品名称

Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

所属分类
没有此类产品
产品描述

Retrofit CDSEM S-9380 执行原厂新机器同样验收技术指标:

提供样品测试验证;

           General

Wafer size : 8-inch (200-mm size)

V-notch wafer of SEMI or JEIDA standards is applicable.

CD measurement principle : Cursor and line profile measurement

CD measurement range : 0.05 to 2.0 mm (either line width or hole diameter)

CD measurement reproducibility  : ±1% or 0.6 nm (3 sigma), whichever larger

Throughput                        : due to the data after modification from Hitachi  High-Technologies Corporation

     Secondary electron image resolution   

: 2 nm (at accelerating voltage of 0.8 kV; with

 Hitachi’s reference specimen for resolution  measurement)

Magnification                         : SEM image - 1,000´to 300,000´

             Optical microscope image - approximately 110x (220x is optional)

 

升级:实验室数据上传接口;

 

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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