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电子工业及其它洁净室空气洁净度等级表     
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空气洁净度等级(N)

大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)

 

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

--

--

--

--

2

100

24

10

4

--

--

3

1000

237

102

35

8

--

4

10000

2370

1020

352

83

--

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

--

--

--

352000

83200

29300

8

--

--

--

3520000

832000

29300

9

--

--

--

35200000

8320000

293000


注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。