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洁净用房等级 |
悬浮粒子最大允许数/m³ |
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静态 |
动态 |
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≥0.5μm |
≥5.0μm |
≥0.5μm |
≥5.0μm |
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Ⅰ级 |
3520 |
29 |
35200 |
293 |
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Ⅱ级 |
352000 |
2930 |
3520000 |
29300 |
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Ⅲ级 |
3520000 |
29300 |
不作规定 |
不作规定 |
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Ⅳ级 |
35200000 |
293000 |
不作规定 |
不作规定 |