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GB50472-2013洁净厂房设计规范

GB50472-2008-电子工业洁净厂房设计规范

GB50515-2010导(防)静电地面设计规范

■ 服务领域:精密电子、半导体、LED、测试与封装、光导纤维、锂电池等。

■ 重点注意事项:

1、人流

1-1、人员净化:

 

 

1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;

1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;

1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;

1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。

2、物流

2-1、洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。

2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

3、静压差

3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;

3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;

3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。 4、根据生产要求需设计相应防静电设施。

5、电子工业洁净室空气洁净度等级表

 

空气洁净度等级(N)

大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)

 

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

--

--

--

--

2

100

24

10

4

--

--

3

1000

237

102

35

8

--

4

10000

2370

1020

352

83

--

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

--

--

--

352000

83200

29300

8

--

--

--

3520000

832000

29300

9

--

--

--

35200000

8320000

293000

 

注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。