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洁净度级别 |
悬浮粒子最大允许数/立方米 |
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静态 |
动态 |
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≥0.5μm |
≥5.0μm |
≥0.5μm |
≥5.0μm |
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A级 |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
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B级 |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
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C级 |
352000 |
2900 |
3520000 |
29000 |
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D级 |
3520000 |
29000 |
不作规定 |
不作规定 |